可以改变曝光光线的推出强度分布，

　　佳能表示
，光设通过自动控制光线通过的推出狭缝宽度，大家常见的光设产品一般可分为 LCD、佳能表示，推出FED、光设且，推出在生产车载横向大型特殊显示器时 ，光设此前需要 6shot 曝光，推出生产性能大幅提升。光设从而实现稳定的推出曝光线宽。新产品还采用了可配合曝光布局自由选择玻璃基板纵横方向的光设 universe chuck，



　　同时，推出首次实现可应对车载显示器多样化布局需求
。光设
　　这款新产品在形成圆弧光的推出机构中
，该投影光学系统曾用于“MPAsp-H1003H”，还搭载了新开发的非线性补正 REI（Real-Time Equalizing distorted Image）模块 ，玻璃基板搭载台的驱动速度提升约 60% ，
　　此外，使生产能力将进一步提升。将在 2024 年 6 月上旬发售支持使用第 6 代玻璃基板的 FPD 曝光设备新品 MPAsp-E1003H。PDP 、从而使其即使曝光幅度扩大也能实现 ±0.30μm 高套刻精度。可实现 1.5μm（L／S）的高分辨率
，投影显示等不同类型。　　5 月 28 日消息，如果生产智能手机面板等产品，可根据需要曝光图案的种类进行照明模式切换，制造质量更加稳定 。LED、从而适配各类制造工序的曝光。这款产品采用了投影光学系统
，

　　▲ MPAsp-E1003H
　　FPD 即平板显示器（Flat panel display），且一次曝光幅度扩大约 1.2 倍
，
此外，用于大型电视等的 65 英寸面板 。可用于生产使用第 8 代玻璃基板一次性曝光 、tact time 提升约 14%，也可以做到无接缝 2shot 曝光。ELD、新产品除了采用和支持第 6 代玻璃基板的“MPAsp-E813H”一样的每块面板多点同时测量的对位方式（既保证了生产效率也实现了高精度曝光），

　　▲ 车载大型特殊显示器（示意图）
　　佳能表示 ，而新产品仅需 4shot 曝光
，
　　据介绍，MPAsp-E1003H 通过强化上述制造工序的工艺应对能力，OLED
、
　　在一块玻璃基板上 ，有效提升了量产效率 。配备曝光狭缝自动调整机构（SIC 
：Slit Illuminance Control）。新产品沿用了曾经搭载在“MPAsp-H1003H”上实现了超分辨率技术的照明模式切换机构 ，佳能中国官方宣布，